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当然不是一回事。但我了解也不多。高能离子束刻蚀,就是发射高速度的离子,它有很高的能量,通过撞击材料表面,像子弹一样打过去,把表面的材料打散溅射,达到一种刻蚀的效果。高能激光呢,是通过发射有高能量的脉冲激光,像是烧烤一样,表面的材料吸收了激光的能量后变为气体蒸发掉了。两者的优劣对比我不太懂,只是大概有个印象,离子束吧,精确度高,什么材料都行,但是会引入杂质。激光呢,精确度低一些,需要特殊材料,但不会引入杂质。
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